產(chǎn)業(yè)鏈——集成電路關(guān)鍵制造設(shè)備之一

CVD(化學(xué)氣相沉積)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法，是工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。其一般應(yīng)用于集成電路制造、粉末合成、金屬精致等。

CVD設(shè)備則是CVD應(yīng)用的載體，是實現(xiàn)CVD的必要條件。

產(chǎn)業(yè)政策——對于CVD設(shè)備重視程度較高

從政策環(huán)境上來看，我國對于CVD設(shè)備較為重視，其主要體現(xiàn)在相關(guān)政策對于發(fā)展半導(dǎo)體設(shè)備的支持。如《“十三五”國家科技創(chuàng)新規(guī)劃》中，薄膜設(shè)備(PVD設(shè)備、CVD設(shè)備等)被列為國家需要攻克的高端制造裝備;《中國制造2025》中也提到，要形成集成電路關(guān)鍵制造設(shè)備的供貨能力。

技術(shù)工藝——工藝不斷發(fā)展變遷

近年來，CVD工藝不斷發(fā)展，形成了較為固定的工藝流程，同時也根據(jù)不同的應(yīng)用演化出了APCVD、LPCVD、PECVD等不同的CVD技術(shù)。一般來說，不同的CVD技術(shù)需要不同的CVD設(shè)備來承載，一定程度上也促進(jìn)了CVD設(shè)備制造工藝的發(fā)展。

競爭格局——CR3達(dá)到70%

全球CVD設(shè)備市場的主要企業(yè)有應(yīng)用材料、泛林半導(dǎo)體和TEL這三家，據(jù)Gartner披露，這三家企業(yè)合計占據(jù)了全球近70%的市場份額。其中，應(yīng)用材料所占市場份額為30%;泛林半導(dǎo)體和TEL各自占據(jù)21%和19%。

細(xì)分格局——PECVD仍為主流

目前全球主流的CVD設(shè)備仍為PECVD、APCVD和LPCVD，據(jù)Gartner數(shù)據(jù)披露，這三類CVD設(shè)備合計市場份額約占總市場份額的70%;其中PECVD的市場份額約為35%。

國產(chǎn)化分析——相關(guān)技術(shù)仍需進(jìn)步

我國CVD設(shè)備的國產(chǎn)化率近年來雖然在不斷增長，但整體來看仍然較低。從長江儲存2017年至2020年2月CVD設(shè)備累計招標(biāo)采購份額來看，僅有3%的CVD設(shè)備來自于我國國產(chǎn)企業(yè)(沈陽荊拓)，由此可見，我國CVD設(shè)備競爭力與海外知名企業(yè)相比仍具有一定的差距。

目前我國CVD設(shè)備的主要生產(chǎn)企業(yè)包括北方華創(chuàng)和沈陽荊拓，這兩家企業(yè)近年來發(fā)展勢頭較好，CVD設(shè)備相關(guān)技術(shù)也正在加緊研發(fā)中，未來或?qū)⒊蔀槲覈鳦VD設(shè)備國產(chǎn)化率大幅提升的主要動力源。

以上數(shù)據(jù)來源于前瞻產(chǎn)業(yè)研究院《中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)戰(zhàn)略規(guī)劃和企業(yè)戰(zhàn)略咨詢報告》，同時前瞻產(chǎn)業(yè)研究院提供產(chǎn)業(yè)大數(shù)據(jù)、產(chǎn)業(yè)規(guī)劃、產(chǎn)業(yè)申報、產(chǎn)業(yè)園區(qū)規(guī)劃、產(chǎn)業(yè)招商引資等解決方案。

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